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流量制御・計測器 > マスフローコントローラー/メーター

装置自身の状態を監視し、的確なフィードバックを行うことが重要です。私たちは実際に自社製装置を組み立て、OEMでご提供しています。現場から聞こえる生の声を通して得たノウハウを生かし、的確な製品をご提供してまいります。弊社では、流量・圧力制御・状態監視に必要な流量制御機器を、高性能からOEMまで取り扱っています。

MC-3000L

MC-3000LImage

仕 様 温度※・・・・・5~50℃
最小差圧※・・・50kPa
最大差圧※・・・300kPa
精度・・・・・・±1%S.P.
制御範囲※・・・2~100%F.S.
最小F.S.※・・・5SCCM
最大F.S.・・・・400SLM
シール・・・・・Au

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです、※はオプションにより変更可能です。

MC-3000S

MC-3000SImage

仕 様 温度※・・・・・5~50℃
最小差圧※・・・800Pa
最大差圧※・・・133kPa
精度・・・・・・±1%F.S.
制御範囲※・・・2~100%F.S.
最小F.S.※・・・2SCCM
最大F.S.・・・・30SLM
シール・・・・・Au

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです、※はオプションにより変更可能です。

MC-700

MC-700Image

仕 様 温度※・・・・・15~35℃
最小差圧※・・・50kPa
最大差圧※・・・300kPa
精度・・・・・・±1%F.S.
制御範囲※・・・2~100%F.S.
最小F.S.※・・・10SCCM
最大F.S.・・・50SLM
シール・・・・・Au

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです、※はオプションにより変更可能です。

MC-10

MC-10Image

仕 様 温度・・・・・15~35℃
最小差圧・・・50kPa
最大差圧・・・300kPa
精度・・・・・±1%F.S.
制御範囲・・・2~100%F.S.
最小F.S.・・・10SCCM
最大F.S.・・・150SLM
シール・・・・バイトン

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。

LM-3000L

LM-3000LImage

仕 様 温度※・・・・15~35℃
最小差圧・・・50kPa
最大差圧・・・300kPa
精度・・・・・±1%F.S.
最小F.S.・・・0.1g/min
最大F.S.・・・20g/min
シール・・・・Au

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです、※はオプションにより変更可能です。