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流量制御・計測器 > マスフローコントローラー/メーター

装置自身の状態を監視し、的確なフィードバックを行うことが重要です。私たちは実際に自社製装置を組み立て、OEMでご提供しています。現場から聞こえる生の声を通して得たノウハウを生かし、的確な製品をご提供してまいります。弊社では、流量・圧力制御・状態監視に必要な流量制御機器を、高性能からOEMまで取り扱っています。

Transformer

TransformerImage

仕 様 ・マルチガス・マルチレンジ
・高速応答性
・100%メタルシール・高純度設計
・フィールドでプログラム可能*
・再校正をしなくても様々なガス選択が可能*
・DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応
・多彩な警告・診断機能
・RoHS適合
*マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応。
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FC-R7800

FC-R7800Image

仕 様 ・耐腐食設計
・メタルシール採用
・VCR、Swagelok互換の接続部
・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ
・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ
・1x10-11Pa・m3/sec(He)以下の 外部リークレート
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FC-R7700

FC-R7700Image

仕 様 ・エラストマー(ゴム)シール
・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部
・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ
・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ
・1x10-7Pa・m3/sec(He)以下の外部リークレート
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PI-980

PI-980Image

仕 様 ・プレッシャーインセンシティブ  
(圧力の影響を受けにくい)制御が可能
・高い計測精度と再現性
・IGS方式対応
・実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応
・フィールドでのプログラムが可能
・DeviceNet、RS-485、アナログコントロール
・ディスプレイ搭載
・自己診断機能内蔵
・100%メタルシール、高純度仕様
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FC-DR980

FC-DR980Image

仕 様 ・使用ガスおよび流量レンジの選択可能*
・アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択
・ピエゾ制御バルブ
・各種のアラーム/診断機能
・1x10-10 の気密度を保つ金属シール
・電解研磨、UHP処理済み接ガス面
*マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応。
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