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温度制御・計測機器 > 半導体成膜装置用ヒーター

流体制御における温度コントロールは、圧力・流量と並び極めて重要な分野です。 弊社では、お客様のニーズにあった各種機器を提供致します。 中でも、フレキシブルな面状発熱体であるシリコンラバーヒーターと温度センサー(熱電対・測温抵抗体)は、お客様の希望する仕様・形状に合わせて1台から製作致します。

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