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減圧弁 64-2600 シリーズ

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仕 様 ・一段減圧
・超高純度
・Ra0.12又はRa0.25μm
・電解研磨、または内面電解研磨
・フリーポペットデザイン
・ハステロイ製も可能
・Cv=0.06(最大入口圧24.1MPa)
・Cv=0.15(最大入口圧4.13MPa)

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形状および寸法は予告なく変更することがあります。

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主な仕様

最高入口圧力
24.1MPa(高圧タイプ) 4.1MPa(低圧タイプ)
調整圧力
0.01~0.21MPa
0.01~0.41MPa
0.01~0.69MPa
0.01~1.72MPa
Cv値
0.06(高圧タイプ)
0.15(低圧タイプ)
リークレート 1×10-10Pa・㎡/sec.
入口側耐圧 35.4MPa(高圧タイプ)
5.98(低圧タイプ)
出口側耐圧 調整圧力の150%
設計破壊圧力 調整圧力の400%
材質
ボディ 316Lステンレス
シート PCTFE又はテフロン®
ダイヤフラム 316ステンレス
その他接ガス部 316ステンレス
使用温度 -40~71℃
本体重量 約0.9kg

構造図

寸法図

機種選定表


1
2 3 4
5
6

7
64-26
6





-


1.ボディ部材質
6 316Lステンレス

2.調整圧力
0 0.01~0.21MPa
1 0.01~0.41MPa
2 0.01~0.69MPa
3 0.01~1.72MPa

3.シート材質
K PCTFE
T テフロン®

4.出入口接続規格、サイズ
出入口接続規格、サイズ "A"寸法
(±1.53)
A4
1/4"
H.P.I.C. ※1
・・・・・・
RM 1/4"
オス ナット
93.98
RT 1/4"
メス ナット
93.98
RL 1/2"
メス ナット
120.65
RU 入口側 1/4"
オス ナット
出口側 1/4"
メス ナット
93.98
RV 入口側 1/4"
メス ナット
出口側 1/4"
オス ナット
93.98

5.最大入口圧力
1
24.1MPa
2 4.1MPa

6.ゲージポートタイプ
ゲージポートタイプ ゲージポート数
0 ナシ
0 FIG.A
1 1/4"
H.P.I.C. A
1 FIG.C
2 1/4"
H.P.I.C. A
2 FIG.B
3 1/4"
H.P.I.C. A
2 FIG.D
4 1/4"
オス ナット
2
FIG.D
5 1/4"
オス ナット
1 FIG.C
6 1/4"
オス ナット
2 FIG.B
7 1/4"
メス ナット
2 FIG.D
8 1/4"
メス ナット
1 FIG.C
9 1/4"
メス ナット
2 FIG.B
S 1/4"
オス 固定
2 FIG.B
T 1/4"
オス 固定
1 FIG.C
U 1/4"
オス 固定
2 FIG.D

7.オプション
無印
標準
020 パネル取付
ボンネット
055 CV.24

流量特性図

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