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減圧弁 RS/RRクリーンルーム対応シリーズ

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特 長 ・圧力制御機器方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。
・クリーン仕様- 部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Ni メッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。
・排気ポートを設備- リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
・優れた特性- リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。
・マニホールド対応- マニホールド配管が可能です(R □ - □ -M-KA、フッ素ゴム製専用パッキン付属)。
・高精度- 感度0.1%F.S. 繰り返し再現性± 0.1%F.S. という高精度の圧力制御が可能です。
仕 様 【対応流体】
気体

【ワンポイント概要】
本体材質 アルミニウム
設定圧力 14 ~ 820kPa
最高使用圧力 1MPa

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形状および寸法は予告なく変更することがあります。

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仕様

内部パイロット式
RS-4 RS-8
外部パイロット式
-
RR-8
接続口径 Rc1/4、マニホールド
使用流体
圧縮清浄空気
圧力設定範囲 14~420kPa 14~820kPa
1次側圧力範囲 1MPa
リリーフの有無
繰り返し再現性 ± 0.1%F.S. 以内
感度 0.1%F.S. 以内
空気消費量 3.7L/min以内
使用温度範囲 5~60℃
圧力計接続口径
Rc1/4
ブラケット RS-□-2-KA のみ装備
質量 RS:0.41kg/RR:0.45kg

寸法図

製品改良のため、形状および寸法は予告なく変更することがあります。

発塵量測定方法

チャンバ容積
3.6L
バーティクルカウンタ


吸引速度 3L/min
吸引量 1CF(約28.3L)
可測粒径 0.3μm 以上
電磁弁作動サイクル 1サイクル/2sec
JIS B 8372
「空気圧用減圧弁耐久性試験」に順ずる。
測定時作動回数 200万回作動後

圧力、流量特性

バイアス圧力調整方法(RRシリーズ)

機種選定表

1 2
3
4





1.基本型式
RS 内部パイロット式
RR
外部パイロット式

2.圧力レンジ
4 14~410kPa
8 14~820kPa


3.接続
2 Rc1/4
M マニホールド

4.清浄度
KA クリーン仕様

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