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ダイアフラムポンプ
ダイアフラムポンプはゴム、フッ素樹脂を使用した膜式の容積式ポンプです。真空ポンプ、コンプレッサとして使用することが出来ます。
メタルベローズポンプ
メタルベローズポンプはフレキシブルなステンレス製ベローズダイアフラムの特長を生かした容積式ポンプです。ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサとして使用することが出来ます。※液体の使用不可
酸素ガス発生装置
弊社では、発生量・仕様に応じての製品設計・選定のみならず、付帯設備等の選定・アドバイスまで行っています。
窒素ガス発生装置
弊社では、発生量・仕様に応じての製品設計・選定のみならず、付帯設備等の選定・アドバイスまで行っています。
チェックバルブ
様々な流体、環境に対応出来るよう、幅広いラインナップをそろえております。
リリーフバルブ
30kPa以下にも対応可能なRA、RLシリーズはじめ外部から設定圧を調整できる製品もあり、様々なニーズにお応えいたします。
ニードルバルブ
ニードル部を無回転構造にする事で、スムーズな微小流量調整が可能です。必要流量に応じ幅広く選定頂けます。
マスフロー
独自の流量センサにより、長寿命。豊富なオプションで様々な流量制御条件で使用可能です。直接触れない流量センサ構造とメタルシールで、特殊ガスの流量制御が可能です。
エジェクター
液体とガスor液体の混合液製造（オゾン＋水＝オゾン水発生装置など）等の用途に幅広く対応。
ホットホース
ホットパワーMAX.500℃ヒーター部であるニクロム線をホース全体に、また均等に巻き込んでおりますので、内壁温度分布のバラつき無くご使用頂けます。
ガス分析計
SERVOMEXの分析計は酸素、窒素、アンモニア、二酸化炭素、ヘリウム、アルゴン等様々なガスに対応出来る豊富なラインナップがあり、 非消耗型で最小出力レンジ0～2ppbオーダーまで計測可能なシリーズもございます。（O2）