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高純度水素ガス発生装置 H2PEMシリーズ

高純度水素ガス発生装置 H2PEMシリーズImage

仕 様 ■純度99.9995%以上
■最大発生流量100cc/min~510cc/min
■圧力0.07~0.69MPa
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超高純度水素ガス発生装置H2PDシリーズ

超高純度水素ガス発生装置H2PDシリーズImage

仕 様 ■純度99.9999%以上
■最大発生流量150cc/min~300cc/min
■圧力0.4MPa
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(大容量)超高純度水素ガス発生装置H2シリーズ

(大容量)超高純度水素ガス発生装置H2シリーズImage

仕 様 ■純度99.99999%以上
■最大発生流量500cc/min~1200cc/min
■圧力0.62MPa・0.69MPa
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