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高純度水素ガス発生装置 H2PEMシリーズ
| 仕 様 | ■純度99.9995％以上 ■最大発生流量100cc/min～510cc/min ■圧力0.07～0.69MPa |
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超高純度水素ガス発生装置H2PDシリーズ
| 仕 様 | ■純度99.9999％以上 ■最大発生流量150cc/min～300cc/min ■圧力0.4MPa |
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（大容量）超高純度水素ガス発生装置H2シリーズ
| 仕 様 | ■純度99.99999%以上 ■最大発生流量500cc/min～1200cc/min ■圧力0.62MPa・0.69MPa |
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| PDFカタログ | ● |
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