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メタルベローズポンプの特長と構造、用途

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特 長 メタルベローズポンプはフレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの特徴を生かした容積式ポンプです。
ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。
用 途 ■ガス分析計、分析機器装置のサンプリング
■原子力発電所、研究用の放射能監視分析機器のサンプリング
■放射性同位体元素の循環、貯蔵システム
■高電圧、電子装置の冷却と導波管の加圧装置
■高温エンジン排気ガス分析機器
■大気汚染監視装置のサンプリング
■放射性、有毒、高価ガスの処理工程
■商用航空機の飲料水加圧
■半導体プロセスガスの移送、貯蔵
■エキシマレーザー用ガス精製装置
■各種研究、実験用途、ガス循環装置他

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形状および寸法は予告なく変更することがあります。

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特長

■優れた気密性
溶接ベローズと密閉されたハウジングの構造により、非常に気密性の高い状態で吸引、昇圧が可能です。ヘリウムリークテストのリークタイト:1x10-7 ~1x10-9 std.cc/sec Helium
■コンタミネーションがない
接ガス部であるベローズとリードバルブには構造上磨耗部がなく、流体ガスへのコンタミネーションがありません。
■耐食性が高い
接ガス部の材質は劣化、腐食に強い300シリーズステンレスが使用されています。バルブのガスケットにはテフロン、またはバイトンガスケットが使用されており、オプションでアルミOリングガスケットを選定すると、接ガス部を全てメタル構造にすることができます。
■寿命が長い
運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下の応力レベルで設計、製作されているため、無限に近い運転サイクルに耐える事が出来ます。また、航空宇宙や原子力機器レベルの品質管理要求に対応する専有の製造設備、統一された溶接工程、溶接技術によって、信頼性、安定性の高い高性能な製品の性能を保証することができます。
■メンテナンスフリー
注油等のメンテナンスは不要です。
■特殊仕様に対応
様々な要求仕様や用途に合わせ、標準型ポンプを改造し特殊仕様の品ポンプを設計、製造致します。
モーター(防爆、可変速、直流、特殊電圧、特殊周波数、軽量仕様等)、二重構造ベローズ閉じ込め(ダブルコンテイメント)、ガスケット材変更、ベローズ表面処理等があります。

作動原理

モーターシャフトとベアリング間の偏心カムによってドライバーが往復運動するとベローズに変位置が与えられ、リードバルブが開閉、流体ガスを吸込、吐出します。

構造

流体ガスを完全密閉するベローズと、無給油密閉型ボールベアリングを組み込んだドライバーを溶接したドライブユニット*、精巧に成型加工された高性能リードバルブの組合せによって、メタルベローズポンプは性能低下なく無限のサイクル運転ができるよう設計されています。

*MB-302、MB-601、MB-602のドライブユニットは分割型で、ベローズアッセンブリーとドライバーアッセンブリーをボルトで固定する方式となっています。(詳しくはカタログをご参照ください。)

形式

メタルベローズポンプの型式はポンプ能力とポンプ仕様との組合せによって決定、表示されています。
・ポンプ能力:MB-10~MB-602(最大吐出流量2.8~169.8 L/min)
・ポンプ仕様:MB-10-"XX"~MB-602-"XX"(標準型については"XX"の表示なし)
 高温用(-HT):ポンプとモーターが分割型でポンプヘッドを232℃迄昇温可能。(標準型は80℃迄)
 高圧用(-HP):吸入、吐出圧が275kPa(G)以上に対応。最大690kPa(G)迄。
 ダブルコンテイメント型(-DC): 二重ベローズ構造。
 防爆モーター(-XP) :NECコード/NEMA規格 ClassI GroupD, ClassII GroupE,F,Gが適用。
 230Vモーター(-E) :230V仕様のモーター
 航空機仕様(PWSC28823-7) : 特殊型式。航空機に搭載可能で、特殊周波数、軽量化ボディ、モーター。

注1 MB-302と構造が異なりますが、ポンプ能力は同等です。MB-601型2ヘッドを1ヘッドに改造したものです。
注2 230Vは標準装備となっております。(115/230V, 50/60Hz)
注3 左記型式は組合せることができます。 例)MB-111HP-DC, MB-601HT-HP-DC-XP等。
注4 左記以外にもアルミOリングガスケット、特殊表面処理、DC用センサースイッチ、VCR接続、各種モーター(可変速、全閉型、全閉外扇、三相)等、型式に反映されない仕様もあります。

性能

詳細については各型式の性能曲線図を御参照下さい。

注1 最大流量はポンプの吸込側と吐出側の圧力がそれぞれ大気圧(空気、1atm、20℃)の場合の空気流量となっております。
空気流量の基準が(1atm、0℃,NL/min)の場合、最大流量より約7%減少した数値になります。
例)MB-10の最大流量2.8L/m≒2.6NL/m
注2 到達真空度はポンプ吐出側が大気圧、吐出流量が0L/mになる時の最大真空圧力となります。
注3 最高吐出圧はポンプ吸込側が大気圧、吸込流量が0L/mに時の吐出側の圧力です。
但し、MB-158, MB-302, MB-601, MB-602型については吸込流量が0L/mになるまで、吐出側の圧力が上昇し続けますので、吐出圧を定格設計圧にて制限しております。
注4 MB-111HP,MB-151HP,MB-601HPシングルの最高耐圧は699.6kPa(G)となります。昇圧コンプレッサーの循環用(吸込圧と吐出圧がそれぞれ大気圧以上)として使用します。

接ガス部の材質

流体ガスと接触する部分(接ガス部)の材質は下記によって構成されています。

キャップ(ポンプヘッド) : 300シリーズステンレス
バルブ(リード、プレート): 300シリーズステンレス
バルブ(ガスケット) : テフロン、バイトン、アルミニウム(Oリングシールタイプ)
バックアップOリング: バイトン、テフロン被服バイトン、シリコン、アルミニウム
ベローズエンドターミナル: 300シリーズステンレス
ベローズ: AM350*(AMS5548/SUS633相当):Cr-Ni-Mo合金/セミオーステナイト系ステンレス鋼
*別途オプションにて特殊表面処理(電解研磨、不動態化処理)が可能です。347ステンレス(低温用ベローズ)

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