微圧リリーフバルブ　RSPシリーズを追加しました

2021/08/26

大気圧～微圧環境下での使用を想定し設計されたリリーフバルブです。（クラッキング圧力1.0～5.0±20％kPa）

大気圧～微圧環境下での使用を想定し設計されたリリーフバルブです。
特殊ダイアフラム構造により、高いシール性能再現性を実現しました。
微圧環境設備、回路の圧力制御用途に最適です。